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等離子清洗機(jī)是一種利用等離子體進(jìn)行表面處理的設(shè)備。要理解它的工作原理，可以先想象閃電劃過(guò)天空的場(chǎng)景--閃電將空氣電離，產(chǎn)生發(fā)光的等離子體。等離子清洗機(jī)內(nèi)部也發(fā)生...
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在材料表面改性與精密清洗領(lǐng)域，實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)已成為眾多科研與研發(fā)環(huán)節(jié)的常規(guī)配置。隨著應(yīng)用場(chǎng)景的不斷拓展，市場(chǎng)上的設(shè)備在技術(shù)路線(xiàn)與結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上呈現(xiàn)出多元化趨勢(shì)。本次橫評(píng)摒棄了傳統(tǒng)的參數(shù)羅列，從實(shí)際運(yùn)行工況與物理結(jié)構(gòu)出發(fā)，對(duì)當(dāng)前主流實(shí)驗(yàn)室臺(tái)式等離子清洗機(jī)進(jìn)行客觀(guān)拆解，旨在為設(shè)備選型提供更具參考價(jià)值的底層邏輯。腔體材質(zhì)與物理結(jié)構(gòu)的博弈物理結(jié)構(gòu)是設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行的基礎(chǔ)，腔體材質(zhì)與電極設(shè)計(jì)直接決定了等離子體的均勻性與抗污染能力。在實(shí)測(cè)中，不銹鋼腔體與鋁合金腔體展現(xiàn)出不同的物理特性。采用3...
[查看詳情]應(yīng)用案例
等離子清洗特點(diǎn)是不分處理對(duì)象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對(duì)金屬、半導(dǎo)體、氧化物和大多數(shù)高分子材料等都能很好地進(jìn)行超清洗。
圖為PLUTO-T等離子清洗機(jī)對(duì)陶瓷基板上銀氧化層的清洗實(shí)例。
等離子清洗機(jī)可用于晶圓或者電路板表面的光刻膠去除，以及去除光學(xué)元件、半導(dǎo)體元件表面的光阻材料等。
圖為PLUTO-MD等離子去膠機(jī)對(duì)PCB板和硅片的去膠實(shí)例。
改善粘合力-用于光學(xué)元件、生物醫(yī)學(xué)、封裝領(lǐng)域等；
表面改性-用于高分子材料表面修飾、PDMS微流控芯片鍵合、玻璃等，增強(qiáng)表面粘附性、浸潤(rùn)性、相容性；
圖為PLUTO-M對(duì)線(xiàn)路板、橡膠管和手機(jī)膜的表面改性實(shí)例。
等離子刻蝕是干法刻蝕中常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。
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